楚千澜凝视着控制面板上缓慢回落的温度数值，指尖轻叩观察窗边缘，语气异常平静：“故障现在暴露，总比量产时出问题要好。”

他抬手示意技术人员调出设备结构图，指尖在屏幕上勾勒出改进方案：“可以在镜头周边增加微型散热鳍片，同时优化温度补偿算法，根据实时温度数据动态调整光路参数，抵消热胀冷缩带来的偏移。

另外，给光源设备加装独立的恒温控制系统，将工作环境温度波动控制在±0.5c以内，从根源上减少热变形的影响。”

沈院士看着楚千澜快速给出的解决方案，眼中闪过赞许：“这个思路可行！微型鳍片+动态补偿+恒温控制，三重保障应该能解决热稳定性问题。

龙科院可以协调光学材料专家，帮忙优化散热鳍片的材质和结构，提升导热效率。”

冷却系统运转半小时后，设备温度恢复正常。

张北光按照楚千澜的方案临时调整参数，重新启动光源设备。

这一次，光束聚焦偏移量被稳定控制在±0.5微米，连续运转四小时无任何参数漂移，热稳定性完全达标！”

他调出测试报告，屏幕上清晰显示：“光学镜头损耗率仅0.01%\/千片晶圆，腔体腐蚀程度低于行业标准30%，各项指标均满足工业级量产要求。”

沈院士看着报告上亮眼的数据，忍不住赞叹：“这已经不是初步成功，而是完全具备量产条件了！

有了这套自主光源设备，深蓝半导体的180纳米光刻机产能至少能提升40%，良率再上一个台阶，后续45纳米光刻产线的研发也有了坚实基础。”

楚千澜脸上露出一丝淡笑，“光源设备量产是要提上日程了，但这180纳米光刻机提升产能就不需要了。

待到45纳米光刻产线完成研发，公司就没必要再维持这条180纳米的落后产线了！”